Добре відомо, що властивості поверхні металу змінюються в результаті йонного розпорошення поверхневих шарів у вакуумі. Даний огляд містить результати досліджень зміни кінетики адсорбції кисню і окиснення на поверхні перехідних металів і стопів у вакуумі при бомбардуванні йонами Ar$^{+}$ низької енергії (< 10 кеВ). Зокрема, наведено результати систематичних досліджень поверхні монокристалів Cu, Ni, Fe, Co і стопу Fe–Ni. Відзначається важлива роль таких параметрів як доза бомбардування, енергія йонів і температура зразка у зміні хемічної активности поверхні. Наведено докази того, що механізм взаємодії в системі газ–поверхня істотно контролюється оптимальним співвідношенням між енергією та густиною первинного йонного струму, а також швидкістю розпорошення природного оксиду на поверхні мішені.