Хорошо известно, что свойства поверхности металла изменяются в результате ионного распыления поверхностных слоёв в вакууме. Данный обзор содержит результаты исследований изменения кинетики адсорбции кислорода и окисления на поверхности переходных металлов и сплавов в вакууме при бомбардировке ионами Ar$^{+}$ низкой энергии (< 10 кэВ). В частности, приведены результаты систематических исследований поверхности монокристаллов Cu, Ni, Fe, Co и сплава Fe–Ni. Отмечается важная роль таких параметров как доза бомбардировки, энергия ионов и температура образца в изменении химической активности поверхности. Приведены доказательства того, что механизм взаимодействия в системе газ–поверхность существенно контролируется оптимальным соотношением между энергией и плотностью первичного ионного тока, а также скоростью распыления природного оксида на поверхности мишени.