Моделювання та діягностика пошкоджень і деформацій у кристалі Gd$_{3}$Ga$_{5}$O$_{12}$ після імплантації йонів F$^{+}$
В. О. Коцюбинський$^{1}$, В. М. Пилипів$^{1}$, Б. К. Остафійчук$^{1}$, І. П. Яремій$^{1}$, О. З. Гарпуль$^{1}$, С. Й. Оліховський$^{2}$, О. С. Скакунова$^{2}$, В. Б. Молодкін$^{2}$, Є. М. Кисловський$^{2}$, Т. П. Владімірова$^{2}$, О. В. Решетник$^{2}$, Є. В. Кочелаб$^{2}$
$^1$Прикарпатський національний університет ім. Василя Стефаника, вул. Шевченка, 57, 76018 Івано-Франківськ, Україна
$^2$Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України, бульв. Академіка Вернадського, 36, 03142 Київ, Україна
Отримана: 01.07.2014. Завантажити: PDF
Для одержання кількісних характеристик радіяційного дефектоутворення в ґадоліній-ґалійовому ґранаті (ҐҐҐ) проведено математичне моделювання процесу імплантації йонів фтору за допомогою програми SRIM-2008. Встановлено розподіли за глибиною кристалу пружніх і непружніх енергетичних втрат імплантованого йона F$^{+}$ з енергією 90 кеВ та зміщених йонів мішені при гальмуванні в кристалі ҐҐҐ, а також профілі розподілу за глибиною кількостей імплантованих і зміщених йонів. Визначено характер пошкоджень та їх кількісні характеристики. Структурні зміни, спричинені імплантацією йонів фтору в поверхневому шарі монокристалу ҐҐҐ, досліджено методою Рентґенової дифракції. Встановлено форму профілю деформації в імплантованому шарі і зв’язок його характеристик з результатами моделювання.
Ключові слова: ґадоліній-ґалійовий ґранат, йонна імплантація, первинні та вторинні радіяційні дефекти, математичне моделювання, деформація, двокристальний Рентґенів дифрактометр, крива дифракційного відбивання.
PACS: 61.05.cp, 61.05.Np, 61.72.Dd, 61.72.Hh, 61.72.J-, 61.72.up, 61.80.Az
Citation: V. O. Kotsyubyns’kyy, V. M. Pylypiv, B. K. Ostafiychuk, I. P. Yaremiy, O. Z. Garpul’, S. J. Olikhovskyy, O. S. Skakunova, V. B. Molodkin, Ye. M. Kyslovs’kyy, T. P. Vladimirova, O. V. Reshetnyk, and Ye. V. Kochelab, Modelling and Diagnostics of Damages and Strains in a Crystal of Gd$_{3}$Ga$_{5}$O$_{12}$ After Implantation of F$^{+}$ Ions, Usp. Fiz. Met., 15, No. 3: 121—143 (2014) (in Ukrainian), doi: 10.15407/ufm.15.03.121