В даній роботі показані можливості спектральної еліпсометрії та магнітооптичної (МО) спектроскопії для вивчення структури та особливостей фізичних властивостей багатошарових металевих плівок (БШП) з товщинами складаючих їх шарів порядку одиниць нанометрів. Основний підхід дослідження базується на порівнянні експериментально одержаних оптичних та МО властивостей БШП з модельними, що були одержані для різних моделей структури БШП. Було показано, що даний підхід дозволяє визначити природу незвичайних МО властивостей, а також природу інтерфейсної області БШП, що складаються з шарів благородних та 3$d$-перехідних металів (ПМ). В роботі також паказана висока чутливість спектральної еліпсометрії для вивчення твердотільних реакцій в БШП 3$d$-ПМ/Si, зумовлених іонним бомбардуванням або термічним відпалом. Оптичні властивості різних силіцидів 3$d$-ПМ, що було зформовані спонтанно або завдяки зовнішньому впливу, були вивчені експериментально та порівняні з результатами теоретичних першопринципних розрахунків.