Вторично-ионная эмиссия: матричный эффект
В. Т. Черепин$^{1}$, М. А. Васильев$^{1}$, С. И. Сидоренко$^{2}$, С. М. Волошко$^{2}$, И. А. Круглов$^{2}$
$^1$Институт металлофизики им. Г.В. Курдюмова НАН Украины, бульв. Академика Вернадского, 36, 03142 Киев, Украина
$^2$Национальный технический университет Украины «Киевский политехнический институт имени Игоря Сикорского», просп. Победы, 37, 03056 Киев, Украина
Получена: 20.08.2018; окончательный вариант - 18.10.2018. Скачать: PDF
В статье описана физическая природа зависимости вероятности ионизации распылённых атомов от атомной и электронной структур металлической мишени, бомбардируемой ионами нейтральных газов (матричный эффект). Проведён систематический анализ литературных данных и результатов авторов данного обзора, полученных при исследовании вторичной ионной эмиссии (ВИЭ) чистых металлов, разбавленных твёрдых растворов и концентрированных сплавов. Практическая важность таких исследований обусловлена тем, что явление ВИЭ является основой уникального метода химического, изотопного и физико-химического анализа не только металлических материалов, но также полупроводников и органических веществ. Установлена высокая чувствительность ВИЭ к изменению сил межатомного взаимодействия и параметров электронной структуры. Систематические данные по «эффекту матрицы» в эмиссии вторичных ионов могут быть основой создания уникального количественного метода определения энергии связи различных атомов в составе многокомпонентных материалов.
Ключевые слова: металлические сплавы, вторично-ионная эмиссия, масс-спектрометрия, химический анализ, изотопы, энергия связи, электронная структура.
PACS: 07.75.+h, 34.35.+a, 41.75.Ak, 61.80.Lj, 68.49.Sf, 79.20.Rf, 82.80.Ms
Citation: V. T. Cherepin, M. O. Vasylyev, S. I. Sidorenko, S. M. Voloshko, and І. O. Kruhlov, The Secondary-Ion Emission: Matrix Effect, Usp. Fiz. Met., 19, No. 4: 418—441 (2018) (in Russian), doi: 10.15407/ufm.19.04.418