Выпуски УФМ »  Том 5, выпуск 1

Фазовые переходы полупроводник–металл

Ю. Н. Таран, В. З. Куцова, О. А. Носко

Национальная металлургическая академия Украины, просп. Гагарина, 4, 49600 Днепропетровск, Украина

Получена: 13.05.2003. Скачать: PDF

Рассмотрены изменения структурных, механических, тепловых и электрических свойств полупроводников и сплавов на их основе в результате фазовых и структурных превращений.

Ключевые слова: кремний, германий, легирование, фазовые превращения, микроструктура, термообработка.

PACS: 61.72.Tt, 71.22.+i, 71.30.+h, 72.60.+g, 81.30.-t, 81.40.Rs

Citation: Yu. M. Taran, V. Z. Kutsova, and O. A. Nosko, Semiconductor–Metal Phase Transitions, Usp. Fiz. Met., 5, No. 1: 87—166 (2004) (in Russian), doi: 10.15407/ufm.05.01.087

Цитированная литература (94)  
  1. А. М. Нестеренко, К. И Узлов, В. З. Куцова и др., Изв. АН СССР, Металлы, № 2: 192 (1988).
  2. Ю. Н. Таран, В. З. Куцова, К. И Узлов, М. Г. Ковальчук, Металловедение и термическая обработка металлов, № 9: 33 (1988).
  3. В. М. Глазов, В. С. Земсков, Физико-химические основы легирования полупроводников (Москва: Наука: 1967).
  4. Кремний: Сб. ст. (Пер. с англ. под ред. Д. Н. Петрова) (Москва: Изд. иностр. лит.: 1960).
  5. В. Н. Лозовский, А. И. Ундянская, Тр. Новочеркасского политехн. ин-та (1967), с. 54.
  6. F. A. Trumbore, Bell. Syst. Toch. I, 39: 205 (1960). Crossref
  7. H. Spreenger, Metal, 5: 1–6 (1995).
  8. Е. Ю. Тонков, Фазовые превращения соединений при высоком давлении: Справочник в 2 книгах (Москва: Металлургия: 1988).
  9. Е. Ю. Тонков, Фазовые диаграммы элементов при высоком давлении (Москва: Металлургия: 1979).
  10. V. G. Eremenko and V. I. Nikitenko, Phys. Stat. Soc. A, 14: 317 (1972). Crossref
  11. В. В. Копаев, Ю. В. Копаев, С. Н. Молотков, Микроэлектроника, 12, вып. 4: 499 (1983).
  12. Г. Г. Громов, В. В. Копаев, Ю. В. Копаев, К. В. Руденко, Письма в ЖТФ, 46, № 3: 119 (1987).
  13. Г. Г. Громов, К. В. Руденко, В. Б. Уфимцев, ЖТФ, 56, № 10: 1998 (1986).
  14. К. В. Руденко, Г. Г. Громов, С. В. Жук, ФТП, 21, вып. 8: 1482 (1987).
  15. К. В. Руденко, Г. Г. Громов, С. В. Жук, ФТП, 21, вып. 10: 1750 (1987).
  16. Г. Г. Громов, К. В. Руденко, В. Б. Уфимцев, Письма в ЖТФ, 13, вып. 16: 998 (1987).
  17. Г. Г. Громов, К. В. Руденко, А. Вернер и др., ЖТФ, 58, вып. 8: 1541 (1988).
  18. Ю. В. Копаев, В. В. Меняйленко, С. Н. Молотков, Письма в ЖТФ, 11, вып. 4: 241 (1985).
  19. Ю. В. Копаев, В. В. Меняйленко, С. Н. Молотков, ФТТ, 27, вып. 4: 3288 (1985).
  20. А. М. Нестеренко, О. В. Снитко, Физические свойства атомарно-чистой поверхности полупроводников (Киев: Наук. думка: 1983).
  21. А. М. Нестеренко, В. Г. Ляпин, Фазовые переходы на свободных гранях и межфазных границах в полупроводниках (Киев: Наук. думка: 1990).
  22. П. Дебай, Успехи физ. наук, 21: 120 (1939). Crossref
  23. Я. И. Френкель, Тепловое движение в твердых и жидких телах и теория плавления (Москва: ВСНПТО: 1936), вып. 10.
  24. Я. И. Френкель, Теория твердых и жидких тел (Москва–Ленинград: ГТТИ: 1938).
  25. Я. И. Френкель, Кинетическая теория жидкостей (Москва–Ленинград: Изд-во АН СССР: 1944).
  26. А. Ф. Иоффе, Юбилейный сборник АН СССР (Москва: Изд-во АН СССР: 1957), ч. 1, с. 305.
  27. А. Ф. Иоффе, Изв. АН СССР, Сер. физ., 15: 477 (1951).
  28. А. Ф. Иоффе, Физика полупроводников (Москва–Ленинград: Изд-во АН СССР: 1957).
  29. А. Р. Регель, В. М. Глазов, Периодический закон и физические свойства электронных расплавов (Москва: Наука: 1978).
  30. А. Ф. Иоффе, ЖТФ, 27, № 6: 1153 (1957).
  31. А. Р. Регель, Исследования по электронной проводимости жидкостей (Автореф. дис. д-ра физ.-мат. наук) (Ленинград: 1956), 40 с.
  32. А. Р. Регель, В. М. Глазов, Физические свойства электронных расплавов (Москва: Наука: 1980).
  33. В. М. Глазов, В. Б. Кольцов, С. Ф. Сиротюк, Ч. 1: Металлические расплавы: Обзоры по электронной технике. Серия 6. Материалы (Москва: ЦНИИ «Электроника»: 1987), вып. 6, с. 1310.
  34. Ю. Н. Таран, Н. М. Кочегура, В. З. Куцова и др., Докл. АН СССР, 305, № 4: 865 (1989).
  35. Ю. Н. Таран, В. З. Куцова и др., Доклады АН УССР, сер. А, № 7: 81 (1987).
  36. В. М. Глазов, В. Б. Кольцов, В. З. Куцова и др., Электронная техника, № 11: (1990).
  37. Ю. Н. Таран, В. З. Куцова, К. И. Узлов, Э. С. Фалькевич, Б. А. Шкляр, АН СССР, № 4: 5 (1989).
  38. F. Helmut, Wolf Silicon Semiconductors Data Signetics (Card № 69-16047) (London).
  39. В. П. Жузе, С. Н. Николаев, ЖТФ, 23, № 5: 913 (1953).
  40. В. М. Глазов, А. А. Айвазов, В. Б. Кольцов, ФТП, 14, № 8: 1532 (1980).
  41. В. Б. Кольцов, В. А. Курбатов, Ю. И. Селин, А. М. Умаров, Заводская лаборатория, 52, № 4: 433 (1986).
  42. Г. В. Самсонов, Л. А. Дворина, Б. М. Рудь, Силициды (Москва: Металлургия: 1974).
  43. А. И. Ансельм, Введение в теорию полупроводников (Москва: Наука: 1978).
  44. G. C. Rybiki and P. Piruoz, Indentation of Plasticity and Fracture in Silicon: NACA Technical Papers, 1 (1988).
  45. R. Behtensmeier, M. Brede, P. Haasen, Scripta Met., 21, No. 11: 1581 (1987). Crossref
  46. Bornstein, Numerical Data and Functional Relationships in Science end Technology (Library of Congress).
  47. Ю. Н. Таран, В. З. Куцова, А. М. Нестеренко, К. И. Узлов, Докл. АН Украины, № 4: 76 (1991).
  48. В. М. Глазов, В. Б. Лазарев, В. В. Жаров, Фазовые диаграммы простых веществ (Москва: Наука: 1980).
  49. Р. А. Свелин, Термодинамика твердого состояния (Москва: Металлургия: 1968).
  50. Л. Д. Ландау, Е. М. Лифшиц, Статистическая физика (Москва: Наука: 1964).
  51. А. В. Сторонкин, Термодинамика гетерогенных систем (Москва: МГУ: 1967), ч. 1, 2.
  52. Е. Б. Трейвус, Введение в термодинамику кристаллогенезиса (Ленинград: 1990).
  53. С. К. Филатов, Введение в высокотемпературную кристаллохимию. Кристаллохимия и структурный типоморфизм минералов (Ленинград: 1985), с. 21.
  54. С. К. Филатов, Зап. Всесоюзн. минералогич. общ-ва, 114, вып. 1: 14 (1985).
  55. П. Флери, Успехи физ. наук, вып. 1: 129 (1982).
  56. Ю. Н. Таран, В. М. Глазов, А. Р. Регель, В. З. Куцова, и др., ФТП, 25, в. 4: 588 (1991).
  57. Yu. N. Taran, V. Z. Kutsova, E. S. Falkevich, and K. I. Uzlov, Proceeding of the International Conference ‘Silicon 90’, vol. II, Chapter VI, ‘Silicon Characterisations’ Tesla, P. R. Roznow, Czech Republic (1990), p. 93.
  58. Yu. N. Taran, V. Z. Kutsova, K. I. Uzlov, and E. S. Falkevich, Proceeding of the International Conference ‘Silicon 92’, P. R. Roznow, Czech Republic (1992), p. 88.
  59. Yu. N. Taran, V. Z. Kutsova, K. I. Uzlov, E. S. Falkevich, and G. G. Timochina, Proceeding of the 5th Scientific and Business Conference ‘Silicon 96’, VI, P. R. Roznow, Czech Republic (1996), p. 120.
  60. Yu. N. Taran, V. Z. Kutsova, and K. I. Uzlov, Proceeding of the 4th Decennial International Conference of Solidification Processing (Sheffield: 1997), p. 618.
  61. Г. В. Курдюмов, ЖТФ, № 18, в. 8: 999 (1948).
  62. Т. Г. Джандиери, Г. П. Коландадзе, П. Д. Кервалишвили, Высокочистые вещества, № 4 (1990).
  63. В. М. Глазов, В. А. Курбатов, В. Б. Кольцов, ФТП, 19, в. 4: 662 (1985).
  64. И. Р. Юхновский, З. А. Гурский, И. М. Зеленчук, Расчет статистической суммы бинарных сплавов методом коллективных переменных (Препринт ИТФ-88-22Р) (Киев: 1980), 33 с.
  65. З. О. Гурський, УФЖ, 35, № 11: 1738 (1990).
  66. M. Jin and M. Cdiin, Phys. Rev. B, 26, No. 10: 5668 (1982). Crossref
  67. R. Berdoncini and F. Meloni, Phys. C. Solid State Phys., 17: 2705 (1984). Crossref
  68. Я. О. Довгий, М. К. Заморский, И. В. Китык и др., Самосогласованный расчет энергетических зон кремния с использованием нелокального псевдопотенциала (Препринт ИТФ-89-19 Г) (Киев: 1989), 36 с.
  69. У. Харрисон, Псевдопотенциалы в теории металлов (Москва: Мир: 1968).
  70. W. Brinkman and B. Goodman, Phys. Rev., 149, No. 2: 597 (1966). Crossref
  71. А. Г. Хачатурян, Теория фазовых превращений и структура твердых растворов (Москва: Наука: 1974).
  72. И. Г. Юхновский, З. А. Гурский, ФММ, 56, вып. 4: 672 (1983).
  73. Дж. Бирман, Пространственная симметрия и оптические свойства твердых тел (Москва: Мир: 1978), т. 2.
  74. В. М. Глазов, В. Б. Кольцов, А. Р. Регель и др., ФТП, 27, вып. 7: 1080 (1993).
  75. P. Piruoz, U. Danmen, and K. Wastmacott, Acta Metall., 38, No. 2: 329 (1990). Crossref
  76. P. Piruoz and R. Chaim, Acta Metall., 38, No. 2: 313 (1990). Crossref
  77. А. А. Ситников, Л. М. Сорокин, И. Е. Таланин и др., ФТТ, 28, в. 6: 1829 (1986).
  78. T. Y. Tan, H. Föll, and S. M. Hu, Phil. Mag. A, 44: 127 (1981). Crossref
  79. Б. И. Николин, Доклады Всесоюзной конференции по мартенситным превращениям в твердом теле (Киев: Институт металлофизики АН Украины: 1992), с. 246.
  80. Рейви, Дефекты и примеси в полупроводниковом кремнии (Москва: Мир: 1984).
  81. Э. С. Фалькевич, Э. О. Пульнер, И. Ф. Червоный и др., Технология полупроводникового кремния (Москва: Металлургия: 1992).
  82. В. И. Фистуль, Сильно легированные полупроводники (Москва: Наука: 1967).
  83. В. М. Глазов, А. Я. Потемкин, М. С. Михайлова, Известия ВУЗов. Цветная металлургия, № 6: 67 (1997).
  84. В. З. Куцова, В. В. Пацалюк, В. М. Хроненко, Теория и практика металлургии, № 2: 38 (1997).
  85. В. М. Глазов, Г. Г. Тимошина, М. С. Михайлова, ДАН, 347, №3: 352 (1996).
  86. В. З. Куцова, В. В. Пацалюк, В. М. Хроненко, МОМ, № 3: 40 (1999).
  87. Ю. Н. Таран, В. З. Куцова, Высокочистые металлические и полупроводниковые материалы. Харьковская научная ассамблея ISPM-8 (2002), c. 68.
  88. Ю. М. Таран, В. З. Куцова, О. А. Носко, МОМ, № 1–2: 59 (2002).
  89. А. Р. Регель, В. М. Глазов, Периодический закон и физические свойства электронных расплавов (Москва: Наука: 1978).
  90. Э. В. Приходько, Металлохимия многокомпонентных систем (Москва: Металлургия: 1995).
  91. Ю. Н. Таран, В. З. Куцова, О. А. Носко, Высокочистые металлические и полупроводниковые материалы. Харьковская научная ассамблея ISPM-9 (2003).
  92. А. Н. Веселовская, С. И. Чашенко, Ю. В. Данковский и др., Актуальные вопросы физики полупроводниковых детекторов (Киев: АН УССР: 1981), с. 44.
  93. Б. Я. Фарбер, В. И. Никитенко, ФТП, 23: 2191 (1981).
  94. М. Г. Мильвидский, В. Б. Освенский, Структурные дефекты в монокристаллах полупроводников (Москва: Металлургия: 1984).

© 2013–2018 «ИМФ НАН Украины»